【芯片制造】薄膜沉积设备（ALD）巨头ASM带你认识芯片制造工艺

[视频作者] 招魂使者

[视频时长] 2:28

[视频类型] 野生技能协会

ASM开创了工业中使用的许多已建立的晶圆加工技术的重要方面，包括光刻，沉积，离子注入和单晶圆外延。近年来，ASM将原子层沉积（ALD）和等离子体增强原子层沉积（PEALD）从研发一直带到先进制造商工厂的主流生产。‎